Forno de tubos de quartzo de 1100C com sublimador de precursor sólido para camadas 2D de TMDs CVD

Análise do produto para fornos de tubos de anelamento térmico de difusão por oxidação

O PTC D110/440/12NG é um forno de tubo CVD compacto a 1100 °C com um dispositivo de sublimação de precursores.As entradas de gás totalmente de quatro canais são construídas na sublimação, o que permite que a alimentação de vários gases transporte o vapor de origem para o aquecedor principal para uma maior decomposição e deposiçãoO dispositivo do suporte de amostra montado na flange direita é deslizável para facilitar o carregamento/descarregamento de amostras..

Principais características

• Sistema de forno CVD compacto com:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" comprimento tubo de quartzo (OD 110 x ID 103 x L 740, mm)
• 1100oC Máxima temperatura de funcionamento com precisão de +/- 1oC
• A flange de refrigeração por água no lado direito é deslizante para facilitar o carregamento de amostras
• A flange de refrigeração por água no lado esquerdo entre o aquecedor e o forno é usada para a entrada de gás pré-aquecido e vedação
• A entrada de gás de quatro canais (tubo Dia de 1/8" e instalação de tubos) está embutida na flange lateral esquerda
• Um pequeno aquecedor é ligado à flange do lado esquerdo do forno para pré-aquecer o gás de entrada, líquido ou evaporar o produto químico sólido, que será então entregue ao forno CVD:
• Clique na imagem à esquerda para mais detalhes:
• 1.2'O.D x 6'L tubo SS como câmara de aquecimento
• Vacuo selado 1" ID pequeno tubo de quartzo dentro do aquecedor (Figura 2)
• Temperatura de funcionamento máxima de 400oC (o aquecedor de 1000oC está disponível mediante pedido)
• A flange do lado esquerdo é para vedação de gás e entrada

Curvas de rampa, habitação e arrefecimento para fornos de laboratório da série 1200

Medidas de segurança

• Amperiômetro e voltômetros duplos para fácil monitorização e solução de problemas.
• Proteção contra sobreaquecimento desliga o forno de tubo se a temperatura estiver fora da faixa aceitável (consulte o manual do controlador) ou quando o termopare é quebrado ou falha no funcionamento
• Proteção contra falhas de energia retoma o funcionamento do forno imediatamente após o ponto de falha quando a energia é restabelecida
• O controle PID de autoajuste baseado em microprocessador fornece um processo térmico ideal com um excesso mínimo

Galeria de produtos

Dispositivo de sublimador de precursor para fornos de tubos CVD

Especificações técnicas

Notas de aplicação

• Não encha o tubo do forno com gases explosivos, como hidrogénio ou metano, sem os controlos e supervisão necessários de segurança.
• Fornos de tubo de laboratório com tubo de quartzo concebidos para utilização sob vácuo e baixa pressão < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• As pequenas rachaduras podem aparecer na superfície da cerâmica refratária durante uma utilização prolongada.

Comparação de tamanho