1200C Forno de tubos CVD multi-zona OD120mm 3 zonas com uniformidade de temperatura +/- 5C

Forno de tubos CVD multi-zona 1200C (OD120mm, 3 zonas) com uniformidade de temperatura +/- 5

Visão geral do produto para 1700CForno de tubos rotativos

Estação de trabalho de forno de tubos CVD multi-zona consiste num forno de tubos com várias zonas de aquecimento, numa estação de controlo de fluxo de gás de massa de precisão,Uma unidade de bomba de vácuo elevado e outras peças de montagem, tais como tubos de fornoTmax 1200°C, a taxa de vácuo final sobe para 10^-7 torr com unidades de bomba de vácuo molecular.A estação de controle de fluxo de gás de massa mistura três ou mais tipos de gás juntos e insere o gás misturado em um tubo de quartzo ou tubos de metal dentro do fornoO forno de tubos multi-zona é competente para experimentos como CVD, difusão e outros tratamentos térmicos sob vácuo e proteção atmosférica.

Principais características

• Tmax 1200°C
• Forno de tubos CVD horizontal, dividido, multi-zona
• Inconel 600 como tubo de processamento
• Nível máximo de vácuo 10E-7 torr
• Controle preciso do caudal de gás de massa de 3 canais
• As zonas de aquecimento múltiplos controladas separadamente garantem um melhor gradiente de temperatura
• Suporte de flanges duplas proporciona melhor vedação e maior vida útil do tubo
• Termopares de tipo N
• Certificado CE, norma

Medidas de segurança

• Amperiômetro e voltômetros duplos para fácil monitorização e solução de problemas.
• A protecção contra o sobreaquecimento desliga o forno de tubos CVD se a temperatura estiver fora do intervalo aceitável (consulte o manual do controlador) ou se o termocouple estiver avariado ou tiver um mau funcionamento.
• A protecção contra falhas de alimentação retoma o funcionamento do forno imediatamente após o ponto de falha, quando a alimentação é restabelecida.
• O controle PID de autoajuste baseado em microprocessador fornece um processo térmico ideal com um excesso mínimo

Galeria de produtos

Vista da frente para forno rotativo de tubos de 1200C

Especificações técnicas

Notas de aplicação

• Não encha o tubo do forno CVD com gases explosivos, como o hidrogénio ou o metano, sem os controlos e a supervisão necessários.
• Os fornos de tubos com tubos metálicos são concebidos para utilização sob vácuo e baixa pressão < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa.
• As pequenas rachaduras podem aparecer na superfície da cerâmica refratária durante uma utilização prolongada, o que é normal e as rachaduras podem ser reparadas com revestimento de alumina

Comparação de tamanho