Forno de tubo de vácuo CVD de laboratório de 3 zonas de alta temperatura 1700C com tubo de alumínio OD60mm

Visão geral do produto

O PTC D60/600/17/3 é um forno de tubo de 60 mm OD de 3 zonas com flange de vedação de vácuo completo.Cada zona de aquecimento é de 12 "de comprimento e controlado por três precisão 30 segmentos de controladores de temperatura digital independentementeUma zona (zona central) é aquecida por elementos Super-1800 MoSi2 até 1700°C, e outras duas zonas são aquecidas por elementos SiC até 1400°C.O forno de tubo pode criar os vários gradiente térmico ajustando três zonas de temperaturaÉ um excelente forno para preparar materiais funcionais sob gradiente térmico, e também pode ser usado para o crescimento de filme epitaxial por CVD.

Principais características

• Intervalo de temperatura de trabalho 1200°C-1700°C
• Dual estrutura de aço, perda de calor mínima; três zonas de aquecimento, controladas de forma independente
• 99Tubos de alumínio de 0,6% com flanges de vedação de aquecimento de abertura rápida SS304
• Elementos de aquecimento MoSi2 poderosos garantem uma temperatura uniforme
• Câmara isolada por fibras para estabilidade e uniformidade máximas de temperatura
• Controlador PID digital com 30 segmentos programáveis
• Conjunto individual de dispositivos de abastecimento de gás, disponível para mistura de gás com Ar, N2 CO, H2 etc.
• Termopares de longa duração do tipo B
• Certificado CE

Medidas de segurança

• Amperiômetro e voltômetros duplos para fácil monitorização e solução de problemas.
• A protecção contra o sobreaquecimento desliga o forno se a temperatura estiver fora do intervalo aceitável (consulte o manual do controlador) ou se o termocouple estiver avariado ou tiver um mau funcionamento.
• A protecção contra falhas de alimentação retoma o funcionamento do forno imediatamente após o ponto de falha, quando a alimentação é restabelecida.
• O controle PID de autoajuste baseado em microprocessador fornece um processo térmico ideal com um excesso mínimo

Detalhes do produto

Forno de tubos de vácuo CVD de alta temperatura a 1700°C com três zonas

• O forno de tubo CVD de alta temperatura de 1700C é constituído principalmente por cinco partes: corpo do forno, tubo do forno, acessórios de vedação da flange, sistema de abastecimento de gás,Sistema de vácuo e sistema de controlo de temperatura
• A casca externa de aço do forno é processada com decapagem e fosfatagem, revestimento em pó ambiental na superfície, resistência à corrosão e oxidação, ventilador de arrefecimento incorporado,temperatura da superfície Rt+45°C
• Conformidade ISO, CE

Perfil da câmara para forno de tubos de alta temperatura CVD a 1700°C

• Alto isolamento cerâmico por alumina, gravação CNC, paredes de câmara de acoplamento apertado, aquecedor MoSi2 tipo U, resistente a temperaturas de até 1800C
• comprimento de aquecimento 600 mm, adequado para tubo de alumínio com diâmetro de 60 mm tubo de processamento de alumínio de alta resistência a temperaturas de até 1700 °CA parte crítica da zona de aquecimento no interior do tubo de forno é equipada com o tapete do tubo de cerâmica, o que pode impedir efetivamente que o calor escape e reduzir as perdas de calor.
• Termócopo de tipo B

Flange de abertura rápida, suportes de tubos de forno, bocal de gás de pagoda de 1/4 ", unidade de bomba de vácuo

• Equipados com acessórios de flange de refrigeração por água de abertura rápida SS304 para carregamento e descarregamento rápidos de materiais, selados com anéis de vedação de borracha de flúor resistentes a altas temperaturas
• A entrada de ar e saída adota G1 / 4 polegadas do fogão de ar pagoda, que pode ser conectado a um tubo de PTFE com um diâmetro exterior de 8 mm.
• Conectado unidade de bomba molecular com KF25, certifique-se de nível de vácuo chegar a 10 *-5mbar

Programas de aquecimento para o forno de tubos de 1700°C CVD

• 30 segmentos programáveis, taxa de aquecimento 1-10C/min, ajustável livremente
• Bom isolamento térmico, arrefecimento natural, arrefecimento suave
• Painel touchscreen de 7 "é opcional, programas de aquecimento podem ser mostrados em tempo hábil, e baixado

TEspecificações técnicas

Notas de aplicação

• A pressão do tubo de processamento deve ser inferior a 0,02 MPa
• A fonte de gás deve equipar a válvula redutora de pressão
• Antes de encher gases de redução como H2, deve bombear o ar para fora do tubo
• Ao encher os gases da entrada de gás no tubo, deve certificar-se de que a válvula de saída de gás aberto

Comparação de tamanho